在多晶硅生產(chǎn)過程中會排放少量的含氟廢酸液，對此類含氟廢酸液該如何處理呢？今天給大家介紹一下多晶硅生產(chǎn)中含氟廢酸液處理工藝。

一、多晶硅含氟廢酸液來源

　　在多晶硅生產(chǎn)的硅料清洗工序，先用堿液除去硅料表面的石英、金屬離子等，再使用39%氫氟酸和68%硝酸的混合液進(jìn)行酸洗，后用去離子水沖洗浸泡至中性。酸洗階段產(chǎn)生少量廢酸液，使用完的廢酸，濃度的降低基本可以忽略不計(jì)，氟離子含量約5%。

二、多晶硅含氟廢水常規(guī)預(yù)處理工藝

　　由于多晶硅含氟廢水處理該廢液酸性很強(qiáng)，為避免對后端處理設(shè)備造成腐蝕，一般會調(diào)解PH值，然后向廢水中投加石灰乳或者電石渣，對廢水進(jìn)行中和，同時(shí)鈣離子與氟離子生成難溶物氟化鈣沉淀。

三、多晶硅含氟廢水零排放處理工藝

　　預(yù)處理出水的主要鹽組分為硝酸鈣，硝酸鈣質(zhì)量濃度10%以上，氟離子含量約10mg/L，pH高于7。將預(yù)處理后的廢水蒸發(fā)濃縮至質(zhì)量濃度70%左右，再冷卻至40℃以下，結(jié)晶生成四水硝酸鈣。

　　四水物加熱到151℃完全脫水，加熱到495~500℃時(shí)，硝酸鈣分解放出氧并生成亞硝酸鈣，繼續(xù)加熱則分解成氧化鈣及氧化氮?dú)怏w。

　　硝酸鈣為強(qiáng)氧化劑，屬于危險(xiǎn)化學(xué)品。因此該工藝產(chǎn)出的四水硝酸鈣應(yīng)避免受熱，并嚴(yán)禁與有機(jī)物、還原劑、磷和硫磺等接觸。

　　硝酸鈣水溶液在不同壓力下的沸點(diǎn)不同，70%硝酸鈣溶液在常壓下的沸點(diǎn)為133℃，而在絕壓40kPa和25kPa下，其沸點(diǎn)分別下降到105℃和93℃。

　　硝酸鈣溶液的蒸發(fā)器宜選用強(qiáng)制循環(huán)蒸發(fā)器，因?yàn)閺?qiáng)制循環(huán)蒸發(fā)器對高黏度、易生泡沫、易結(jié)垢、甚至有結(jié)晶析出的溶液均適用，且完成液的組成較容易恒定。蒸發(fā)器內(nèi)恒定的完成液組成對后續(xù)冷卻結(jié)晶系統(tǒng)的正常穩(wěn)定運(yùn)行起到至關(guān)重要的作用。

　　根據(jù)硝酸鈣的水鹽體系，硝酸鈣溶液可以選擇采用冷卻結(jié)晶系統(tǒng)，冷卻結(jié)晶產(chǎn)出的硝酸鈣產(chǎn)品可以作為肥料利用。

四、多晶硅廢水處理尾氣處理工藝

　　對廢酸液處理過程中產(chǎn)生的廢氣處置工藝及設(shè)備選型，酸性廢氣可用堿性溶液進(jìn)行吸收處理，常用的吸收液。

　　經(jīng)堿液吸收后的尾氣通過排氣筒高空排放，尾氣中氮氧化物和氟化物排放濃度及排放速率滿足排放標(biāo)準(zhǔn)。室外高空排放時(shí)應(yīng)設(shè)避雷設(shè)施，采用金屬排放裝置還應(yīng)有可靠的接地措施。

　　根據(jù)含氟廢酸液中和后的溶液組成及性質(zhì)，選取合適的蒸發(fā)結(jié)晶工藝和操作條件，以實(shí)現(xiàn)廢液的零排放。